300,000 point/sec.の高速全面測定

従来の膜厚測定では、5 pointや9 pointといった限られた点の測定に数分～数十分を要していました。しかし、全面膜厚測定ユニットは300,000 point/sec.の高速膜厚測定ができるため、ウェハ全面を高速に測定することができます。その結果、従来検出が難しかったエッジ近傍のムラや部分的な膜厚異常を検出することが可能になりました。