装置構成：In-situ測定が可能なユニットタイプ

従来の膜厚測定装置では、精度を担保するために高精度な搬送機構が必要でした。しかし、全面膜厚測定ユニットでは、フィルム向けの外観検査装置で培った技術を駆使することで、ロボットによるウェハ搬送中に測定を行うことが可能となりました。
そのため、既設の装置に後付けすることで、装置の専有面積を抑えたまま測定機能を追加することができます。