製造装置への高速フィードバック

全面膜厚測定ユニットは測定したデータを製造装置（成膜、コーター、エッチャー、グラインダー、CMP等）に出力することが可能です。従来は加工したウェハの測定を、異なる装置で行っているため、製品を加工してから測定するまで時間がかかっていました。しかし、全面膜厚測定ユニットを搭載することで、加工直後に測定ができるようになるため、製造装置へのフィードバックが高速にできるようになります。