半導体向け膜厚測定装置

全面膜厚測定ユニット

概要

・リアルタイムで製膜をモニタリングできるIn-situ膜厚測定
・抜き取り測定では困難だった膜厚異常も検出する全面・全数測定
・膜厚測定の工数を削減できる製造装置に搭載可能なユニットタイプ
・製造装置の精密なフィードバックに利用可能な外部出力機能

対象

半導体、シリコンウェハ製造、レジスト塗布、各種成膜など